O WF6 úsase principalmente como materia prima para o proceso de deposición química de vapor (CVD) de tungsteno metálico na industria electrónica. O WSi2 fabricado a partir de WF6 pódese empregar como material de cableado en circuítos integrados a grande escala (LSI) e tamén se pode empregar como materia prima para eléctrodos semicondutores, materias primas de flúor para axentes químicos, catalizadores de polimerización, materiais ópticos, etc.